HexagonalBN 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

HexagonalBN相关论文

六方氮化硼成核层减小MOCVD外延生长氮化铝薄膜的应力及裂纹

利用单层六方BN材料(hexagonal BN:hBN)作为成核层, 用金属有机物化学气相沉积法生长AlN薄膜, 得到应力小裂纹少的外延材料。实验......

期刊

AlN薄膜六方氮化硼 MOCVD 缺陷应力 AlN films Hexagonal BN MOCVD Defect Stress

看过本文同时还关注